报告

主题：

基于MEMS技术的高性能气体传感器

报告时间及地点：

2019-02-27 17:00

材料学院C321

报告人姓名：

许鹏程

报告人简介：

许鹏程，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室副研究员，硕士研究生导师。2015年入选中科院青年创新促进会（青促会），2013年起任中国电子学会气湿敏传感技术专委会委员。许鹏程主要从事基于MEMS技术的微纳传感器相关研究，研究领域涉及信息、电子、化学、材料以及仪器仪表等多门类交叉学科。有60余篇SCI检索论文发表于Anal.   Chem.、Small、Sensors &   Actuators B、biosensors & Bioelectronics、J. Mater. Chem. A、J. Am. Chem. Soc.等期刊上，获SCI引用1300余次。在传感技术顶级国际会议（包括IEEE MEMS和Transducers）发表论文30余篇。获授权专利10余项。

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大纲

报告题目

基于MEMS技术的高性能气体传感器

摘要

气体传感器是典型的生化检测器件，其核心部分包括检测平台和敏感材料两部分。本报告首先介绍微机电系统（MEMS）技术在微纳传感器制造中的发展现状，重点介绍质量型和半导体型两大类气体传感器的集成化与微型化以及未来的发展趋势。报告的第二部分介绍先进敏感材料的设计、优化与传感机理。该部分以功能化介孔材料为例，介绍高性能微质量型敏感材料的研制及应用进展。在半导体型气敏材料的研制方面，本报告以ZnO纳米线为例，介绍该类纳米敏感材料的设计思路并探讨其气敏机理。